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表面平整度檢測

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設(shè)備:表面平整度檢測儀Flat Master 200 SAW

廠商:美國Corporation Corning Tropel

用途:能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進行精密測量適用于,檢測SiC、GaN、藍寶石和玻璃等透明材料。

技術(shù)指標:

l  無接觸和無損傷測試

l  度:50nm 2.0μ″)

l  重復(fù)性:15 nm0.6μ″)(1 sigma

l  分辨率:5nm 0.2μ″)

l  適用2英寸,4英寸,6英寸,8英寸

l  適應(yīng)于多種類型表面:研磨面、拋光面、超光滑面


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